원자층 증착법과 스퍼터링법을 이용한 고체산화물 연료전지용 YSZ 전해질 증착에 관한 연구

와카스 하산 탄비르, 차석원, 하승범, 지상훈, 장익황
2011년 6월 3일
한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회