플라즈마 원자막 증착기를 이용한 지르코니아 박막 증착 및 특성 평가

조구영, 차석원, 노승탁, 강성민, 와카스 하산 탄비르, 최훈

20131030 ~ 20131101

한국정밀공학회 2013 추계학술대회