Domestic ConferencePEALD 로 저온증착시킨 지르코니아 박막의 특성분석 노승탁, 조구영, 이윤호, 박태현, 홍지영, 차석원 20140423 ~ 20140425 2014년도 대한기계학회 열공학부문 춘계 학술대회