Domestic Conference코스퍼터링과 습식 에칭을 통한 나노다공성 도핑 세리아 기능층 제작 유원종,이상훈,류상봉,김유성,소지현,정원엽,최인원,차석원 20171213 ~ 20171215 한국정밀공학회 2017 추계학술대회