Sputtering System
PVD 방식의 박막 증착 장비. 다양한 물질의 박막 증착이 가능함.
나노스케일의 전극 및 전해질을 제작하는데 활용.
PEM Water Electrolysis Test Station
PEM 수전해셀 성능 측정 장비.
셀 온도, 유량 등 조절 하여 실험가능.
PEMFC Test Station
PEM연료전지 실험 장비
셀 온도, 유량, 압력 등을 조절하여 실험이 가능함.
Potentiostatic
연료전지 및 수전해 실험에 사용하는 전기화학 계측기.
부스터를 추가하여 전류 및 전압범위 조절 가능.
Atmosphere controllable furnace
산화, 환원등 내부 환경이 조절 가느안 고언 전기로.
진공, 수소환경 등 원하는 대기상태의 구현이 가능.
Contact Resistance Measurement Equipment
시편사이 접촉 저항을 측정할 수 있는 장비.
가해진 압축력과 그때의 접촉 저항을 실시간으로 확인할 수 있음.
Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition
플라즈마가 인가된 원자층 증착 장비로 우수한 질의 원자층을 증착할 수 있음.
원자층 단위로 증착이 이루어지므로 막질이 우수하고 복잡한 형상에 균일하게 박막이 성장함.
ALD system 연구실 자체 제작
CVD 방식의 박막 증착 장비로 나노 스케일 전해질 및 전극을 구성하는데 핵심적인 장비.
원자층 단위로 증착이 이루어지므로 막질이 우수하고 복잡한 형상에 균일하게 박막이 성장함.
A-Tech Sputter System
• PVD 방식의 박막 증착 장비로 나노 스케일 전해질 및 전극을 구성하는데 핵심적인 박막 장비.
• DC 방식 Sputter : 백금, 팔라듐 등의 전극 물질을 증착
• RF 방식 Sputter : YSZ, CGO등의 세라믹 전해질 증착
Quros Plus150 ALD system
• CVD 방식의 박막 증착 장비로 나노 스케일 전해질 및 전극을 구성하는데 핵심적인 박막 장비.
• 원자층 단위로 증착이 이루어 지기 때문에 막질이 우수하고 복잡한 형상에 균일하게 박막이 성장함.
SOFC Test Station
• 고체 산화물 연료전지 성능을 측정하기 위한 고온 유지 장비 및 연료 공급 장비.
• 고온 유지 기능 및 질소, 수소, 산소등의 연료공급과 셀을 일정한 압력으로 누르는 기능을 포함함.
항온 항습 장비
• PEMFC 성능 측정을 위한 환경을 일정하게 유지시켜주는 장비
• 작동 환경에 따라 성능차이가 크게 나는 PEMFC의 온도, 습도를 일정하게 유지하여 재현성이 우수한 실험을 진행 할 수있음.
고온 소결로
• SOFC의 셀 제작시 파우더나 슬러리 형태의 모 재료를 소결하여 결정성이 있는 막 형태로 만들어 주는 장치
Solartron 1287 electrochemical analyzer
• 전압, 전류, 임피던스 값 등의 전기 화학적 분석을 위한 장비
• 밀리~마이크로 암페어 단위의 전류를 측정하기 위한 장비로 단위 셀 연료전지 측정에 적합
Kikusui Electrochemical Analyzer
• 전압, 전류, 임피던스 값 등의 전기 화학적 분석을 위한 장비
• 수 암페어 단위의 전류를 측정하기 위한 장비로 스택화된 고용량 연료전지 측정에 적합
Atomic Force Measurement
• 분석하고자 하는 시편 표면의 형상을 미세 탐침을 통해 3차원으로 mapping 하여 주는 장비.
• 최근 MEMS 기술에서 미세 탐침을 나노 스케일 전극에 직접 접촉시켜 전류를 집전하는 방법이 응용됨에 따라 사용 범위가 넓은 장비
Gamry Electrochemical Analyzer
• 전압, 전류, 임피던스 값 등의 전기 화학적 분석을 위한 장비
• 피코 암페어 단위의 적은 전류를 측정하기 위한 장비로 작은 스케일의 박막 연료전지 측정에 적합함.